FeCl3蝕刻是最早使用的一種用于銅及合金腐蝕的加工方法,這種方法,原料容易獲得,價(jià)格便宜,配制簡(jiǎn)單,易于操作,因此這一方法曾被廣泛采用,即便是現(xiàn)在也被較多的蝕刻廠所采用。
FeCl3對(duì)銅的蝕刻是一個(gè)氧化還原過(guò)程,在銅表面Fe3+使銅氧化成CuCl,同時(shí)Fe3+被還原成Fe2+。Cu+FeCl3=CuCl+FeCl2,CuCl離子具有還原性,和鑫恒力蝕刻機(jī)中的Fe3+進(jìn)一步反應(yīng)生成CuCl2。生成的CuCl2具有氧化性,同時(shí)會(huì)與銅發(fā)生氧化還原反應(yīng):Cu+CuCl2=2CuCl。
所以FeCl3蝕刻液是依靠FeCl3和CuCl2同時(shí)完成的。其中Fe3+的氧化能力強(qiáng),蝕刻速度快,蝕刻質(zhì)量好。相對(duì)而言,CuCl2在腐蝕機(jī)里蝕刻速度較慢,蝕刻質(zhì)量差,隨著蝕刻液中Fe3+的消耗和CuCl2的增加而使蝕刻速度逐漸減慢,并使蝕刻質(zhì)量惡化。當(dāng)Fe3+消耗量達(dá)50%時(shí),蝕刻機(jī)中的腐蝕速度和蝕刻質(zhì)量都將不利于繼續(xù)進(jìn)行蝕刻過(guò)程,而應(yīng)更換蝕刻液。
在實(shí)際生產(chǎn)中,表示蝕刻液的蝕刻效能不是用Fe3+的消耗量來(lái)衡量,而是采用蝕刻機(jī)中銅的溶解量(單位為g/L)來(lái)衡量。銅在FeCl3蝕刻溶液中,最初蝕刻速度是恒定的。然而隨著腐蝕機(jī)中Fe3+的消耗,蝕刻液中銅含量不斷升高,當(dāng)融銅量達(dá)到60g/L時(shí),蝕刻速度會(huì)變慢,當(dāng)蝕刻液中Fe3+消耗達(dá)到40%時(shí)或融銅量達(dá)到83g/L時(shí),蝕刻速度會(huì)急劇下降,此時(shí)蝕刻機(jī)中的腐蝕液不能再繼續(xù)使用,而應(yīng)考慮蝕刻液的再生或更新。
通常使用的FeCl3蝕刻液酸度都不高,所以FeCl3蝕刻液在腐蝕銅時(shí),也伴有FeCl3和CuCl2的水解副反應(yīng):FeCl3+3H2O=Fe(OH)3↓+3HCL,CuCl2+2H2O=Cu(OH)2↓+2HCL。生成的氫氧化物不穩(wěn)定,受熱易分解生成相對(duì)應(yīng)的氧化物和水,這些氧化物一部分沉淀在蝕刻機(jī)水槽底部形成黃土樣沉積物,一部分懸浮于蝕刻液中,對(duì)抗蝕層產(chǎn)生一定的破壞作用:2Fe(OH)3=Fe2O3↓+3H2O,Cu(OH)2=CuO↓+H2O。
以下為鑫恒力客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)裝機(jī)圖: